elettrodi Plasma rilasciano corrente elettrica attraverso una sostanza che non conduce l'elettricità . Isola d'aria. Esso non conduce elettricità , ma un vari volt campo elettrico mila passato attraverso aria normalmente isolante, crea azoto, ossigeno e altri ioni gassosi . L'elettrodo al plasma fa sì che gli elettroni a carica negativa di interrompere l'azoto o atomi di ossigeno e lascia gli ioni con carica positiva . Gli ioni ed elettroni (plasma ) spostano separatamente attraverso l'alta tensione creando una corrente elettrica . Plasma conduce corrente elettrica .
Vaccuum arco plasma Elettrodi
Vacuum Arc scariche elettriche utilizzano rivestimenti al plasma in metallurgia e come film di plasma . Gli archi vuoto sono accoppiati da elettrodi ad alta tensione in una camera a vuoto . L' arco elettrico trasporta il plasma ionizzato e dirige l'arco magnetico per rivestire una superficie microchip . L'arco può essere diretto con un campo magnetico . Microchip di rivestimento con un arco al plasma carica è un processo chiamato " arco di deposizione sotto vuoto ". Metallo liquido scende spruzzo dalla superficie elettrodi , che toglie la qualità del rivestimento plasma sottile. Le goccioline incoerenti vengono rimossi dal fascio di plasma ostruendo il flusso dell'arco plasma tra l'elettrodo e la superficie del semiconduttore . Questo processo è chiamato " filtrato sotto vuoto di deposizione per arco . "
Corona e scarica a bagliore Elettrodi
scariche elettriche Corona è una scarica elettrica parziale disomogenea . Scarica elettrica corona viene creato da un campo elettrico elevato voltaggio vicino a un elettrodo affilato . Corona è una scarica di tensione bassa corrente , alta . Glow scariche sono diverse centinaia di volt e 1 ampere di corrente . La bassa corrente ionizzato è amplificato in collisione con altre particelle . L'amplificazione crea elettroni secondari . Scariche elettriche sono anche creati da microonde o laser onde con o senza elettrodi .
Capacitively Coupled Plasma ( CCP ) Elettrodi
Un plasma accoppiato capacitivamente ( PCC ) elettrodo è in realtà due elettrodi plasma con poca distanza tra loro all'interno di un reattore . Pressione del gas all'interno del reattore può essere inferiore alla pressione dell'atmosfera . Un elettrodo CCP dirige le onde radio , di solito a 13,56 MHz . Un elettrodo plasma è attaccato alla potenza elettrica , e l'altro è l' elettrodo di massa . Gli elettrodi PCC sono collegati in parallelo , e plasma così formato viene accoppiato capacitivamente plasma. Plasma accoppiato capacitivamente a volte produce luce durante la generazione di plasma con un condensatore . Elettroni bombardano un elettrodo diventano rapidamente caricati negativamente , e creano attuale oltre alla corrente alternata di plasma secondario. Un elettrodo in corrente continua eccita gli elettroni e gli oneri ioni . Questo microprocesso deposita un film sottile al plasma su un elettrodo . Semiconduttori da CCP possono essere incisi .
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