Il primo transistor metallo-ossido-semiconduttore (MOS) fu inventato nel 1959 da Mohamed M. Atalla e Dawon Kahng ai Bell Labs. Il MOSFET (transistor a effetto di campo a semiconduttore di ossido di metallo) fu inventato da Kahng e Atalla nel 1959 e il primo dispositivo CMOS (MOS complementare) commerciale fu prodotto nel 1968 da Fairchild Semiconductor.